ジルコニア式マルチポイント酸素濃度計MS-500/MS-510/SDセンサ

  • 10ppm未満
  • 10ppm以上
  • 1000ppm（0.1％）以上
  • 負圧／大気圧
  • DC電源
  • シリアル通信出力
  • CEマーキング

マルチポイント酸素濃度計MS-500/MS-510/SDセンサシリーズは、当社が長年にわたり蓄積してきた半導体・電子業界向け酸素濃度計の製造ノウハウを活かし、真空装置をはじめとする各種装置用に開発した製品です。
長期間にわたって安定かつ高精度な測定を行える当社独自の小型ジルコニアセンサを搭載し、さらに酸素センサ保護機構を搭載することで、従来品を超える耐久性を実現しました。また、酸素センサと変換部を分離させ、さらに検出器を最大8ポイントまで増設することで同時測定も可能としています｡操作も簡単で、各種処理装置組込みにベストな酸素濃度計です。

製品の特長

本体特長

・最大8ポイントを同時測定

1つのコントローラで最大8ポイントの同時測定が可能です。

（変換機／SDセンサのセットをオプション追加）

・低コスト・省スペース化を実現

量産機への搭載・組込に最適です。

・オプション対応

伝送出力をLAN仕様に変更することで、LANコネクタより、出力が可能となります。

センサ特長

・真空雰囲気対応

サンプリング不要の直挿センサで、真空雰囲気でも測定可能です。

・超高速応答

分離センサで最短応答を実現します。

・高耐久性センサ

センサに特殊コーティング加工を施し、高い耐久性を実現しました。

※SDセンサの詳しい特長・仕様は、SDセンサ製品カタログをご確認ください

・規格等

CEマーキング……EN61010-1、EN61326-1
RoHS指令……EN63000

SDセンサ（4種）
配管への取付例

製品の仕様

全体仕様

型式 コントローラ：MS-500
変換器：MS-510
センサ：SD16NW／SD25NW／SD40NW
測定点数 最大8点（検出部は測定点ごとに1セット必要となります）
測定方式 ジルコニア酸素濃淡電池式
測定範囲 0.001ppm～100％
設置条件 設置場所：屋内、非防爆地域であること
周囲温度：コントローラ／変換器：0～40℃
　　　　　センサユニット：0～50℃
周囲湿度：35～80%RH（結露なきこと）
設置部温度：コントローラ／変換器：0～40℃
　　　　　　センサユニット： 0～100℃
可燃成分、ハロゲン、シリカおよび腐食成分を含まないこと

コントローラ仕様

寸法 92W×44H×120D（mm）
質量 約0.6kg
取付方法 M3ねじによるパネル取付
電源 電源：DC24V 、0.3A
濃度表示 自動レンジ　デジタル4桁表示（濃度表示）
オートレンジ切り替えによる表示
0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
通信出力仕様 通信方式：単方向、RS-232C準拠、D-sub 9ピン（ピンコンタクト）
伝送速度：9,600／19,200／38,400 bps
LAN接続：オプション
オプション LAN出力（伝送出力）

検出部（変換器、センサ）仕様

寸法 変換器：100（W）×40（H）×88（D）（単位：mm、突起部含まず）
センサ：全長100（単位：mm）
質量 変換器：約0.5kg
センサ：約0.3kg
取付方法 変換器：M3ねじによる平面への固定
センサ：ISO真空フランジ取り合い
接続 変換器～センサ間接続は専用線による接続
標準長2m、最大10m
暖機時間 6分以内
電源 電源：DC24V 、2A
消費電力：60VA（定常時：15VA）
繰返性 0～1％レンジ以上：±0.5％FS以下
0～1％レンジ未満：±1.0％FSまたは±0.1ppmのいずれか大きい方以下
※0～1ppm レンジ以下は保証外
空気点
安定性		 ±1.0％FS以下/24h
試料条件 還元雰囲気では使用しないでください。
また、高濃度のHe など、測定ガスの比熱が高くなると使用できない場合があります。
温度： 0～100℃
圧力：10-3Pa～200kPa（絶対圧）
湿度： 露点が周囲温度以下
流量：0.5 ～ 5L/minまたは0L/min（自然拡散状態の測定になります）
  • 上記仕様以外のご要望については別途ご相談ください。

MS-500操作面とMS-510変換器

コントローラ（MS-500）
変換器（MS-510）

寸法図

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