ジルコニア式EtherCAT酸素濃度計LD-600/SDセンサ
- 10ppm未満
- 10ppm以上
- 1000ppm（0.1％）以上
- 負圧/大気圧
- DC電源
- EtherCAT
- CEマーキング
EtherCAT通信酸素濃度計LD-600/SDセンサは、当社が長年にわたり蓄積してきた半導体・電子業界向け酸素濃度計の製造ノウハウを活かし、真空装置をはじめとする各種装置用に開発した製品です。
長期間にわたって安定かつ高精度な測定を行える当社独自の小型ジルコニアセンサを搭載し、さらに酸素センサ保護機構を搭載することで、従来品を超える耐久性を実現しました。また、酸素センサと変換部が分離した設計としており、さらなる高速処理を求められる装置・アプリケーションへの組込みに最適です。
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製品カタログ
製品の特長
・EtherCAT通信が可能
EtherCAT通信を使用した装置・アプリケーションへの組込みに最適です。
・省スペース設置が可能
酸素センサと薄型変換器との分離構造により、設置場所の制約を大幅に軽減しました。
・真空雰囲気対応
サンプリング不要の直挿センサで、真空雰囲気でも測定可能です。
・超高速応答
分離センサで最短応答を実現します。
・高耐久性センサ
センサに特殊コーティング加工を施し、高い耐久性を実現しました。
※SDセンサの詳しい特長・仕様は、SDセンサ製品カタログをご確認ください
・適合規格
CEマーキング……EN61010-1、EN61326-1
RoHS指令……EN63000
商号
EtherCAT®は、Beckhoff Automation GmbH（ドイツ）よりライセンスを受けた特許取得済み技術であり登録商標です。
製品の仕様
機器仕様
| 形状 | 分離型（変換器：据置固定／壁掛式、センサ：直挿式） | |
|---|---|---|
| 表示方式 | 表示なし | |
| 測定範囲 | 0.001ppm～100％（10-20～10-0atm設定は、オプション対応） ppm単位の浮動小数点出力 |
|
| センサ接続 | ISO真空フランジNW16、25、40 またはR3/8ねじのいずれか |
|
| 接続 | 変換器～センサ間接続は専用線による接続 標準長2m、最大10m |
|
| 比較ガス | 大気 | |
| 質量 | 変換器 | LD-600：約0.8kg |
| センサ | SD16NW：約0.2kg SD25NW：約0.2kg SD40NW：約0.35kg |
|
| 外形寸法 | 変換器 | LD-600：65（W）×130（H）×125（D） （単位：mm、突起部含まず） |
| センサ | SD16NW：全長 100mm（センシング部φ11×39、胴体部φ40×51） SD25NW：全長 100mm（センシング部φ11×42、胴体部φ40×48） SD40NW：全長 100mm（センシング部φ11×41、胴体部φ40×49） (単位：mm、突起部含まず) 注：センサユニットは検出部ごとのお客様指定により、SD16NW／SD25NW／SD40NWのいずれか一つとなります。 |
|
特性
| 繰返性 | 0～1％レンジ以上：±0.5%FS以下 0～1％レンジ未満：±1.0%FS又は±0.1ppmのいずれか大きい方以下 ※0～1ppm レンジ以下は保証外 |
|---|---|
| 空気点安定性 | ±1％FS以下／24hr |
| 暖機時間 | 6分以内 |
エンジニアリング仕様
| 通信出力仕様 | 通信方式：EtherCAT I/F （ETG 5003.1、ETG5003.2準拠） プロファイル：Common device profile プロトコル：ETG 5003.1 CDP対応（CoE、FoE） |
|---|---|
| 試料ガス条件 | 還元雰囲気では使用しないでください。また、高濃度のHeなど、測定ガスの比熱が高くなると使用できない場合があります。 温度：0～100℃ 圧力：10-3Pa～200kPa（絶対圧） 湿度：露点が周囲温度以下 流量：0.5～5L/minまたは0L/min（自然拡散状態の測定になります） |
| 暖機時間 | 6分以内 |
| 電源 | 電源：DC24V 、3A 消費電力：80VA（定常時：30VA） |
| 設置条件 | 設置場所：屋内、非防爆地域であること 周囲温度：変換器：0～40℃ センサユニット： 0～50℃ 周囲湿度：35～80%RH（結露なきこと） 設置部温度：変換器：0～40℃ センサユニット： 0～100℃ 可燃成分、ハロゲン、シリカおよび腐食成分を含まないこと |
- 上記仕様以外のご要望については別途ご相談ください。
システム構成図
SDセンサ設置パターン例
寸法図
よくある質問
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- 真空雰囲気に対応
- 超高速応答
- 特殊コーティングを施した
高耐久性センサを採用
